ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেসিস্টকে নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় রাখা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। সফট বেক বা হার্ড বেক প্রক্রিয়ায় ২°C এর মতো তাপমাত্রা-পরিবর্তন হলেই উৎপাদন প্রক্রিয়া ব্যাহত হয়। এজন্যই আমরা ফ্যাব IR ল্যাম্পগুলোর জন্য এই কোয়ার্টজ স্লিভ তৈরি করেছি; যাতে তাপমাত্রা ধ্রুবক থাকে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
এই স্লিভটি শর্ট-ওয়েভ IR রশ্মি প্রেরণের জন্য তৈরি করা হয়েছে; তাই এটি দ্রুত প্রতিক্রিয়া জানায় এবং তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে। এটি বেকিং প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারের তাপমাত্রাকে ±০.১°C এর মধ্যে রাখে; অর্থাৎ প্রতিটি ফটোরেসিস্ট স্তর একই তাপমাত্রায় থাকে। ক্লিনরুমের শর্তাবলীও এই ডিজাইনে অন্তর্ভুক্ত রয়েছে; কারণ এর উপাদানগুলো কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন করে না। ফলে ক্লাস ১–১০০ ধরনের পরিবেশেও উৎপাদন প্রক্রিয়া অব্যাহত থাকে। এটি নিয়মিত বেকিং প্রক্রিয়া, সুস্থিত প্রতিফলন এবং হাজার হাজার ঘন্টা ধরে স্থিতিশীল কার্যকারিতা নিশ্চিত করে।
লিথোগ্রাফিতে এর গুরুত্ব
লিথোগ্রাফিতে তাপমাত্রা লাইনওয়েডথ, আঠালোতা এবং ত্রুটির ঘনত্ব নির্ধারণ করে। এই স্লিভটি বেকিং প্রক্রিয়াকে স্থিতিশীল রাখে, অপচয় কমায় এবং যোগ্যতা যাচাইয়ের সময়কাল কমায়। কারণ সিস্টেমটি দ্রুত নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় পৌঁছায় এবং সেখানেই থাকে। এটি ২৪/৭ কার্যকর থাকে; ফলে ল্যাম্প পরিবর্তনের প্রয়োজন কমে যায়, অ্যালার্মও কমে যায়।
কী বিষয়গুলো মনে রাখতে হবে?
ইনস্টলেশনের সময় ল্যাম্পগুলোকে সঠিকভাবে সাজানো এবং টুলের সাথে সঠিক কানেক্টর ব্যবহার করা জরুরি। অন্যথায় হট স্পট তৈরি হয় এবং ল্যাম্পের আয়ু কমে যায়। রিট্রফিট করার আগে চেম্বারের জ্যামিতি ও ভোল্টেজ রেটিং যাচাই করুন। পরিষ্কার পদ্ধতিতে এটি পরিচালনা করুন; যাতে কোনো ধরনের ক্ষতি না হয়। নিয়মিত পরিদর্শন করুন যাতে প্রতিরোধমূলক রক্ষণাবেক্ষণ সঠিকভাবে করা যায়।