http://ir-heat-direct.com/zh/tags/%E7%8E%BB%E7%92%83/ Recent content in 玻璃 on Direct Infrared Heating Supply Hugo zh Sun, 28 Jun 2026 06:25:47 +0800 http://ir-heat-direct.com/zh/posts/quartz-glass-shield-for-fab-lamp/ Sun, 28 Jun 2026 06:25:47 +0800 http://ir-heat-direct.com/zh/posts/quartz-glass-shield-for-fab-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-direct.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="用于光刻机的石英玻璃防护罩"></p> <p>在制造车间里，光阻烘烤的过程可不是可以掉以轻心的事情。温度如果出现±1.5°C的波动，就有可能导致关键尺寸发生变化，进而影响产<a href="https://o-yate.com">品的一致性</a>。而石英玻璃屏蔽罩则起到了控制温度的作用——它位于光源与晶圆之间，能够确保热量均匀分布，避免温度波动。</p> <p><strong>从技术层面来看，重要的是什么？</strong> 我们设计石英玻璃屏蔽罩时，主要考虑两个要素：温度均匀性和颗粒控制。石英材料具有优异的短波和中波红外光透过率，因此可以将热量分布与光阻的吸收曲线保持一致。此外，其几何结构也经过精心设计，以确保晶圆表面的温度保持在±0.1°C以内。</p>