http://ir-heat-direct.com/zh/tags/%E7%83%98%E7%83%A4%E7%84%99/ Recent content in 烘烤；焙 on Direct Infrared Heating Supply Hugo zh Mon, 29 Jun 2026 07:52:09 +0800 http://ir-heat-direct.com/zh/posts/infrared-soft-bake-lamp/ Mon, 29 Jun 2026 07:52:09 +0800 http://ir-heat-direct.com/zh/posts/infrared-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-direct.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="红外软烤灯"></p> <p>在光刻工艺中，温和烘烤过程中的温度波动其实是个隐蔽的隐患，往往要等到CD-SEM开始出现问题时才会被发现。如果晶圆表面的温度差异达到0.5°C，那么对关键尺寸的控制就会变得非常困难。我们设计的红外线温和烘烤灯，就是为了从源头减少这种温度波动。</p>