Trong quy trình SRD, độ ổn định của chất lượng sản phẩm có thể bị ảnh hưởng nghiêm trọng chỉ trong chốc lát. Ngay cả khi chiếc đèn phát sáng kém một chút thôi, nó cũng có thể gây ra hiện tượng xuất hiện vết ố trên bề mặt wafer, làm tăng số lượng hạt bụi, và khiến những tấm wafer tốt bị coi là hàng lỗi. Chúng tôi đã thiết kế chiếc đèn hồng ngoại SRD nhằm loại bỏ những yếu tố gây biến động này.
Những yếu tố quan trọng Chiếc đèn này sử dụng các bộ phát sóng hồng ngoại tần số thấp, kết hợp với hệ thống quang học bằng thạch anh, giúp truyền năng lượng trực tiếp vào giai đoạn rửa và sấy khô. Độ đồng đều về nhiệt độ trong buồng xử lý được duy trì ở mức ±0,1°C, giúp mỗi tấm wafer đều nhận được lượng nhiệt đồng đều. Thời gian cần thiết để điều chỉnh nhiệt độ chỉ khoảng 200 ms, giúp kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác mà không gây sai lệch.
Chiếc đèn này phù hợp với các môi trường sạch từ cấp độ 1 đến cấp độ 100. Vỏ đèn được thiết kế kín, và đường dẫn sóng được sắp xếp sao cho không gây ra việc phát sinh hạt bụi. Cường độ ánh sáng của đèn giữ nguyên ổn định trong hơn 5.000 giờ, với độ lệch không quá 5%.
Tại sao chiếc đèn này lại phù hợp cho quy trình SRD? Trong quy trình SRD, việc đảm bảo sự đồng đều trong quá trình sấy khô là rất quan trọng, để tránh làm tổn hại đến lớp phim bảo vệ trên bề mặt wafer. Chiếc đèn này giúp duy trì nhiệt độ ở mức mong muốn, giúp lớp phim bảo vệ vẫn giữ được tính ổn định sau các quy trình xử lý.
Kết quả là quá trình sấy khô diễn ra một cách ổn định, giúp giảm tỷ lệ lỗi và số lượng sản phẩm cần tái xử lý. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt, vì đèn có thể nhanh chóng đạt đến nhiệt độ mong muốn và duy trì nhiệt độ đó một cách ổn định. Thời gian hoạt động của đèn cũng được cải thiện, vì thiết bị được thiết kế để hoạt động 24/7, và cấu trúc của đèn cũng được thiết kế để có tuổi thọ cao.
Những yếu tố giúp chiếc đèn này hoạt động hiệu quả Chiếc đèn này có thể được lắp đặt trong các buồng SRD tiêu chuẩn, nhưng việc tích hợp nó vào hệ thống cần phải phù hợp với cấu trúc của máy móc, dòng khí trong buồng xử lý, và độ phát xạ nhiệt của các bức tường trong buồng. Hãy kiểm tra kỹ lưỡng cách lắp đặt và gánh nặng nhiệt độ lên hệ thống làm mát; nếu không, độ đồng đều về nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng.
Hãy dành thời gian để thử nghiệm chiếc đèn trong một khoảng thời gian ngắn, nhằm đảm bảo rằng nó phù hợp với các điều kiện của quy trình xử lý wafer của bạn.