Під час процедури післяочищення можна зробити все правильно, але все одно може статися втрата якості продукту, якщо пластинка сохне нерівномірно чи якщо температура при випалюванні не контролюється належним чином. Нерівномірність температури проявляється у вигляді слідів води, появи „шкірки“ на поверхні пластинки та утворення крапель на краях. Ми створили інфрачервоні обігрівачі для пластинок після очищення, які дозволяють усунути ці проблеми, забезпечуючи точний контроль температури прямо на поверхні пластинки.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо інфрачервоне випромінювання короткої довжини хвилі з швидкою реакцією та точним контролем спектру, що відповідає способу поглинання води та фоторезистом. Це забезпечує однорідність температури на поверхні пластинки в межах ±0,1°C на довжині 150–300 мм. Повторюваність температури становить ±0,2°C, тож процеси, які не можуть допускати змін температури – такі як м’яке та жорстке випалювання, а також сушіння після очищення – відбуваються в межах допустимих значень. Платформа призначена для використання в чистих кімнатах класу 1–100; її конструкція запобігає появі частинок під час роботи.
Чому це ефективно на практиці
Під час процедури післяочищення інфрачервоне випромінювання проникає в мікроскопічні структури пластинки та видаляє вологу без утворення „шкірки“, тож сушіння відбувається миттєво та без залишків. У процесі літографії ця ж платформа забезпечує стабільну температуру під час м’якого випалювання, що дозволяє досягти однорідного профілю шару на поверхні пластинки. Потім можна перейти до жорсткого випалювання для повного затвердіння шару. Швидке підвищення температури скорочує час виконання процедури, а точні параметри контролю зменшують кількість відходів та необхідності повторної обробки. Використання енергії також залишається ефективним – нагрівається сама пластинка, а не вся камера.
Що потрібно врахувати під час встановлення
Необхідно правильно організувати інтерфейс пристрою та систему відведення повітря, щоб тиск та температура в чистій кімнаті залишалися стабільними. Обігрівачі працюють за стандартом SECS/GEM, але якщо ви встановлюєте їх у існуючу платформу, буде потрібен спеціальний кронштейн та процедура калібрування. Необхідно також провести тестовий запуск для перевірки параметрів випромінювання та підтвердження однорідності температури на вашій конкретній пластинці.