http://ir-heat-direct.com/tr/tags/yumu%C5%9Fak/ Recent content in Yumuşak on Direct Infrared Heating Supply Hugo tr Mon, 29 Jun 2026 07:52:08 +0800 http://ir-heat-direct.com/tr/posts/infrared-soft-bake-lamp/ Mon, 29 Jun 2026 07:52:08 +0800 http://ir-heat-direct.com/tr/posts/infrared-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-direct.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Kızılötesi yumuşak ısıtma lambası"></p> <p>Litografide, yumuşak pişirme sıcaklığındaki küçük değişiklikler, CD-SEM cihazları sorun çıkarmaya başlayana kadar fark edilmeyen, verimliliği düşüren faktörlerdir. Wafer üzerindeki sıcaklık farkı 0,5°C civarında olursa, kritik boyut kontrolü bozulur. Bu sorunu kökten çözmek için kendi infrakızıl ışık lambalarımızı geliştirdik.</p> <p><strong>Arka planda önemli olanlar</strong> Hızlı tepki veren kuvars elemanlara sahip kısa dalga boylu infrakızıl ışık kaynakları kullanıyoruz; böylece ısıtma işlemi hızlı ve lokal olarak gerçekleşir. Termal gecikme ise minimum seviyededir. Fotoresistin yumuşak pişirilmesi sırasında, işlem bölgesindeki sıcaklık sabitlenerek ±0,1°C aralığında tutulur; parti başına tekrarlanabilirlik ise ±0,5°C aralığında kalır.</p>