http://ir-heat-direct.com/tr/tags/yay%C4%B1nla/ Recent content in Yayınla on Direct Infrared Heating Supply Hugo tr Tue, 23 Jun 2026 01:16:04 +0800 http://ir-heat-direct.com/tr/posts/post-cleaning-wafer-infrared-heater/ Tue, 23 Jun 2026 01:16:04 +0800 http://ir-heat-direct.com/tr/posts/post-cleaning-wafer-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-direct.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Temizleme sonrası yonga kızılötesi ısıtıcısı"></p> <p>İşlem sırasında, temizleme işleminden sonra bile her şey doğru şekilde yapılabilir; ancak eğer wafer eşit olmayan şekilde kurursa veya fırınlama işlemi düzgün yapılmazsa verim düşebilir. Sıcaklık düzensizlikleri, su lekeleri, yüzeyde kabuklanmalar ve kenarlarda damlalar şeklinde kendini gösterir. Bu tür <a href="https://o-yate.com">sorunlar</a>ı ortadan kaldırmak için, wafer yüzeyinde, tam da gereken yerde tekrarlanabilir bir ısı kontrolü sağlayan kızılötesi ısıtıcılar kullanıyoruz.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar</strong><br> Hızlı tepki süresine ve hassas spektral kontrolüne sahip kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar kullanıyoruz. Bu sayede 150–300 mm boyutundaki waferlerde sıcaklık değerleri ±0,1°C aralığında sabit kalır. Sıcaklığın tekrarlanabilirliği ise atıştan atışa ±0,2°C civarındadır. Bu sayede, sıcaklık değişikliklerine duyarlı olan işlemler – yumuşak fırınlama, sert fırınlama ve temizleme sonrası kurutma – istenen sıcaklık aralığında gerçekleşir. Bu platform, çalışma sırasında parçacık üretmeyen, <a href="https://goldisgood.com">Cleanroom</a> Class 1–100 standartlarına uygun bir tasarıma sahiptir.</p>