http://ir-heat-direct.com/tr/tags/cvd/ Recent content in CVD on Direct Infrared Heating Supply Hugo tr Sun, 07 Jun 2026 04:17:08 +0800 http://ir-heat-direct.com/tr/posts/cvd-chemical-vapor-deposition-heater/ Sun, 07 Jun 2026 04:17:08 +0800 http://ir-heat-direct.com/tr/posts/cvd-chemical-vapor-deposition-heater/ <p><img src="http://ir-heat-direct.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="CVD (Kimyasal Buhar Biriktirme) ısıtıcısı"></p> <p>Fabrika katında, CVD odası ısıtıcısında 0.5°C’lik bir sapma, kaplama kalınlığının spesifikasyon dışına çıkması için yeterlidir—bu da hattın durması anlamına gelir. Sadece sensörde değil, wafer düzleminde sıcaklığı koruyan bir ısıtıcıya ihtiyacınız var. Üstelik bu, parçacık eklemeden veya daha fazla değişkenlik yaratmadan yapılmalı.</p> <p><strong>Teknik olarak önemli olanlar</strong><br> CVD ısıtıcısını wafer düzeyi termal homojenlik etrafında tasarladık—susceptor üzerinde ±0.1°C toleransında. Bu tür bir kararlılık, film stoikiometrisi ve gerilimini kontrol altında tutar. Kuvars gövde ve kısa dalga kızılötesi eleman termal eylemsizliği azaltır, böylece ısıtma ve bekletme geçişleri döngüden döngüye tekrarlanabilir.</p>