ฮีตเตอร์ CVD (การเคลือบสารเคมีในสถานะไอ)

บนพื้นที่ผลิต อุณหภูมิของฮีตเตอร์ห้อง CVD ที่ไหลเปลี่ยนเพียง 0.5°C...