http://ir-heat-direct.com/ru/tags/%D0%BF%D0%BE%D0%BA%D1%80%D1%8B%D0%B2%D0%BE%D1%87%D0%BD%D1%8B%D0%B9-%D0%BC%D0%B0%D1%82%D0%B5%D1%80%D0%B8%D0%B0%D0%BB/ Recent content in Покрывочный Материал on Direct Infrared Heating Supply Hugo ru Sat, 27 Jun 2026 05:31:04 +0800 http://ir-heat-direct.com/ru/posts/coater-developer-infrared-heater/ Sat, 27 Jun 2026 05:31:04 +0800 http://ir-heat-direct.com/ru/posts/coater-developer-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-direct.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Нагреватель инфракрасного излучения для процесса покрытия"></p> <p>На этапе литографии отклонение температуры в размере полуградуса Цельсия при процессах мягкой или жесткой обработки не является незначительным — это приводит к снижению качества продукции. Профили фоторезиста изменяются, критические размеры увеличиваются, и процесс нанесения покрытия становится менее точным. На этапах нанесения и отжига фоторезиста именно тепловые параметры определяют уровень повторяемости процесса.</p> <p><strong>Точность инфракрасного нагрева: однородность и повторяемость на уровне субмиллиметров</strong> Мы разработали инфракрасные нагреватели для процессов нанесения и отжига фоторезиста с использованием длинноволнового инфракрасного излучения с контролируемым распределением тепла. Благодаря этому температурное поле на поверхности пластины остается однородным на уровне субмиллиметров, что позволяет контролировать температуру с высокой точностью. Повторяемость процесса обеспечивается за счет использования замкнутых систем калибровки и стабильного контроля эмиссивности поверхностей. Таким образом, каждый процесс нанесения фоторезиста проходит одинаково, независимо от серии или смены работы. Речь идет не о достижении максимальной температуры, а о контроле всего теплового режима, под которым находится фоторезист.</p>