Инфракрасный нагреватель для пластин после чистки

Tue, 23 Jun 2026 01:16:04 +0800

На этапе послеочистки можно выполнять все необходимые действия, вплоть до процедуры сушки, но при этом все равно может возникнуть проблема с качеством изделия, если пластина высыхает неравномерно или температура сушки меняется. Неравномерность температуры проявляется в виде следов от воды, появления корок на поверхности пластины и других дефектов. Мы разработали инфракрасные нагреватели для использования на этапе послеочистки, чтобы устранить эти проблемы. Такой подход обеспечивает точный контроль температуры прямо на поверхности пластины.

Что имеет техническое значение Мы используем инфракрасное излучение короткой длины волны с быстрой скоростью реагирования и точным спектральным контролем. Это позволяет достичь однородности температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C для подложек размером 150–300 мм. Повторяемость температуры составляет ±0,2°C, что позволяет осуществлять процедуры сушки без каких-либо отклонений. Платформа предназначена для использования в чистых комнатах класса 1–100; ее конструкция позволяет минимизировать количество частиц в воздухе во время работы.

Сушилка для очистки подложек

Mon, 01 Jun 2026 20:49:23 +0800

Out on the fab floor, you watch a wafer carrier come out of the cleaning bath, only to watch the drying step fight you. You know the drill—residual moisture, thermal stress, and airborne particles that punch straight through to yield and photoresist defects. Thermal uniformity isn’t something you get to gamble on.
What actually matters under the hood
This wafer carrier cleaning dryer holds ±0.1°C thermal uniformity across the chamber, so you don’t get hot and cold spots that wreck photoresist stability during soft bake and hard bake. It’s built for cleanroom Class 1–100, with laminar airflow and HEPA filtration that keeps particle counts below 0.3 μm at 99.99% efficiency.
Zero particle generation isn’t a slogan—it’s a spec, and it’s verified with in-line metrology. Thermal profile repeatability stays within ±0.2% cycle-to-cycle, which is what keeps the process stable run after run, across thousands of wafers.
Why this matters in lithography and photoresist processing
Thermal budget is a hard boundary in lithography. This dryer keeps the photoresist layer intact, prevents edge bead, and removes TTOP variation that shows up when temperature gradients are left unchecked.
The payoff is fewer rework lots, tighter critical dimension control, and line-width performance you can bank on. Energy use drops thanks to a high-efficiency recirculation heater and smart duty cycling—without slowing down ramp-up.
What you need to plan for
Plan on a dedicated 208 V, 3-phase power feed, plus a cleanroom exhaust tie-in to hold negative pressure. Installation is one shift, but you’ll need to run full thermal mapping across the carrier footprint during qualification.
Set aside a 4-hour validation window to lock the process recipe and confirm uniformity across every slot.

Вафля on Direct Infrared Heating Supply

Инфракрасный нагреватель для пластин после чистки

Сушилка для очистки подложек