Na área de litografia, as flutuações na temperatura durante o processo de aquecimento são um fator que pode comprometer a qualidade dos produtos, algo que não é percebido até que o CD-SEM comece a apresentar problemas. Uma variação de 0,5°C na temperatura da placa fotossensível faz com que o controle das dimensões críticas seja comprometido. Desenvolvemos nossa lâmpada de aquecimento infravermelho para minimizar essas flutuações desde a origem.
O que é importante por trás disso tudo Utilizamos emissores infravermelhos de onda curta, com elementos de quartzo de resposta rápida, o que permite um aquecimento rápido e localizado. O atraso térmico é mínimo. Para o processo de aquecimento da fotossensível, mantemos a uniformidade da temperatura em torno de ±0,1°C em toda a área de processamento, e a repetibilidade do ponto de ajuste fica entre ±0,5°C de lote para lote.
A saída da lâmpada é ajustada de acordo com as necessidades térmicas da fotossensível – sem superaquecimento ou subaquecimento – e garantimos que não haja geração de partículas indesejadas. A lâmpada pode ser utilizada em salas limpas de classe 1–100, e seu perfil térmico está de acordo com os padrões internacionais para equipamentos semicondutores. É uma solução pronta para uso, já testada em fábricas reais.
Por que isso é útil na produção O resultado é um desempenho estável nas dimensões críticas, o que significa menos necessidade de retrabalho. O rápido aquecimento reduz o tempo necessário para o processo, sem comprometer sua qualidade. Além disso, o consumo de energia diminui, pois o calor é direcionado para onde é necessário, e não para aquecer as paredes da câmara.
A confiabilidade é garantida, literalmente. As unidades podem funcionar por mais de 5.000 horas, com uma queda de desempenho inferior a 5%. Isso permite que a linha de produção funcione 24/7, reduzindo as intervenções desnecessárias.
Detalhes práticos A instalação consiste em adaptar o tamanho e a interface da lâmpada ao seu sistema de aplicação ou módulo de cozimento. É necessário realizar alguns ajustes mecânicos e elétricos, mas nada complicado. O processo de calibração leva pouco tempo, e, uma vez calibrada, a precisão do processo permanece alta.