Na linii produkcyjnej jakość obróbki fotorezystu zależy od jednego czynnika: temperatury w pomieszczeniu. Nawet niewielka zmiana o 0,5°C może wpłynąć na właściwości fotorezystu. Zbyt niska temperatura może doprowadzić do jego uszkodzenia, a na powierzchni pojawią się niepożądane osady. Stworzyliśmy specjalny grzejnik do naszych urządzeń chemicznych, aby eliminować te wahania temperatury.
Co jest istotne pod względem technicznym? Wewnątrz izolowanej komory z kwarcu znajdują się emitory promieniowania infraczarnego o średniej długości fali. Dzięki temu ciepło jest rozpraszane szybko, przy minimalnej masie cieplnej. Równomierność temperatury w całej komorze wynosi ±0,1°C, a powtarzalność między poszczególnymi partiiami produktów wynosi ±0,05°C. System sterowania jest typu PID, z rozdzielczością 24 bitów, a kalibracja odbywa się za pomocą precyzyjnych czujników.
Wszystkie powierzchnie są polerowane elektrycznie z użyciem stali 316L, a wszystkie uszczelki są odporne na rozpuszczalniki i kwasy. Grzejnik jest dostosowany do warunków panujących w salach czystych o klasyfikacji ISO 1–100. Tworzenie cząstek jest ograniczone dzięki specjalnemu projektowi przepływu powietrza oraz filtracji typu HEPA. Gęstość mocy jest dostosowana do objętości komory – dostępne są konfiguracje od 120 V do 480 V, złącza zgodne z normami CE oraz ochrona przed wyciekami prądu do ziemi.
Dlaczego to rozwiązanie sprawdza się w litografii? W procesie litografii komora utrzymuje dokładną temperaturę potrzebną do obróbki fotorezystu. Nie ma żadnych miejsc o wysokiej temperaturze, które mogłyby spowodować powstawanie niepożądanych osadów, ani zimnych obszarów, które mogłyby utrwalić rozpuszczalniki. Dzięki temu uzyskuje się stałą grubość warstwy fotorezystu, mniej konieczności ponownych procesów obróbki oraz lepszą kontrolę parametrów.
Koszt energii jest niski, ponieważ emitory nagrzewają się tylko w momencie potrzeby, a straty w trybie czuwania wynoszą poniżej 1%. Urządzenie nadaje się do pracy 24/7, z czasem nieprzerwanej pracy przekraczającym 50 000 godzin. Dostęp do elementów urządzenia odbywa się przez panel przedni, co minimalizuje czas przerw w pracy.
Oto praktyczne szczegóły: Grzejnik wymaga dedykowanego, stabilnego źródła zasilania. Jeśli używasz agresywnych chemicznych środków, należy użyć czystego, suchego azotu do oczyszczania pomieszczenia – w przeciwnym razie mogą powstać kropelki kondensatu, co powiększy rozbieżności temperatury. Rozmiary komory i uszczelki drzwi muszą być dostosowane do wielkości pomieszczenia. Podczas instalacji należy przeprowadzić pomiar temperatury w całej komorze – to pozwoli ustalić odpowiednie wartości sterowania i potwierdzić równomierność temperatury.