Coater ontwikkelaar infraroodverwarmer

Sat, 27 Jun 2026 05:31:04 +0800

Op de lithografieafdeling is een verschil van een halve graad Celsius tijdens het proces van zachte of harde baking geen klein verschil – het leidt juist tot verminderde productiekwaliteit. De profielen van de fotorezistent veranderen, de cruciale dimensies worden groter, en het proces kan de afwijkingen niet meer compenseren. In de units voor het aanbrengen en weghalen van de fotorezistent is de thermische behandeling cruciaal voor de herhalbaarheid van het proces.

Precisie van infraroodverwarming: sub-millimeternauwkeurigheid en herhalbaarheid We hebben de infraroodverwarmers voor het aanbrengen en weghalen van de fotorezistent ontworpen met behulp van een korte golflengte-technologie, zodat de warmte op een gelijkmatige manier wordt verspreid. Hierdoor is er een thermisch veld met sub-millimeternauwkeurigheid over het oppervlak van de chip, waardoor de temperatuur op het niveau van de chip nauwkeurig kan worden geregeld. Herhalbaarheid wordt bereikt door gebruik te maken van een gesloten feedbacklus en stabiele emissiviteitscontrole. Op deze manier blijft de temperatuur elke keer hetzelfde, batch na batch, shift na shift. Het gaat hier niet om het bereiken van een maximale temperatuur, maar om het beheersen van het hele thermische proces.

Ontwikkelaar on Direct Infrared Heating Supply

Coater ontwikkelaar infraroodverwarmer