Kwartsomhulsel voor fab IR lamp

Wed, 17 Jun 2026 16:36:37 +0800

Op de productievloer is het verhitten van de photoresist een proces waarbij rekening moet worden gehouden met bepaalde thermische eisen. Een verschil van 2°C tijdens het zachte of harde verhitten kan ertoe leiden dat de cruciale afmetingen veranderen. Op dat moment komt de productie tot stilstand. We hebben deze kwartsmantel ontworpen om de thermische condities stabiel te houden, zodat dit proces keer op keer kan worden uitgevoerd.

Wat belangrijk is onder de motorkap
De mantel is gemaakt voor het doorlaten van kortegolflengte-IR-straling. Hierdoor reageert hij snel en kan hij de temperatuur nauwkeurig regelen. Hij zorgt er ook voor dat de temperatuur over het hele oppervlak van de wafer binnen ±0,1°C blijft. Dit betekent dat elke laag photoresist dezelfde temperatuur heeft. De compatibiliteit met schone ruimtes is ook in het ontwerp opgenomen: het materiaal en de afwerking voorkomen het ontstaan van deeltjes, zodat u in een Class 1–100 omgeving kunt werken zonder dat de productie wordt onderbroken. U krijgt dus reproduceerbare resultaten, consistente reflectiviteit en een stabiele prestatie die duizenden uren lang standhoudt.

Mouw on Direct Infrared Heating Supply

Kwartsomhulsel voor fab IR lamp