Een betere manier om MEMS-wafers te drogen: waarom we overstapten op infraroodverwarming
Laten we eerlijk zijn: de traditionele manier van het drogen van wafers is een chaos. Je hebt te maken met chemische oplosmiddelen, zware metalen en die vervelende VOC’s. Hierdoor lijkt een schone ruimte minder op een laboratorium en meer op een mislukte chemische reactie.
We hebben besloten om hiermee te stoppen. Nu gebruiken we infraroodverwarming. Dit is schoner, milieuvriendelijker en bovendien effectiever.
Hoe het werkt
De meeste mensen denken aan ovens, waarbij de lucht wordt verhit in de hoop dat deze de wafers kan drogen. Dat is langzaam.
Infraroodverwarming werkt anders. Het is net alsof je op een julidag in de zon staat. De lampen sturen elektromagnetische straling rechtstreeks naar de wafels. We stemmen de frequentie zo in dat deze overeenkomt met de frequentie die watermoleculen prefereren. Hierdoor verdwijnt het vocht snel van het oppervlak van de wafels.
Het gaat erg snel – echt heel snel.
We hoeven niet meer minuten te wachten, maar slechts seconden. Bovendien zijn de apparaten kleiner, waardoor er meer ruimte beschikbaar is. Ook de energiekosten nemen af.
De uitdagingen (en hoe we deze oplossen)
Om er zeker van te zijn dat er geen schadelijke stoffen vrijkomen, gebruiken we lampen met hoge-puurheidsfilamenten. Deze lekken geen giftige stoffen wanneer ze worden verhit. Dit is een grote opluchting voor iedereen die de lucht in de ruimte inademt.
Maar er is wel een probleem: infraroodverwarming creëert veel warmte in een zeer kleine ruimte. Als de wafels verschillende diktes hebben of gemaakt zijn van gemengde materialen, kunnen er ‘hete punten’ ontstaan. Als je niet voorzichtig bent, kan het silicium beschadigen. Om dit te voorkomen, gebruiken we pulserende stroombronnen. We letten ook goed op de snelheid van de transportbanden en de afstand tussen de lampen. Alles moet precies op de juiste manier worden gedaan.
Wat dit betekent voor de productieruimte
Als je nog steeds gebruikmaakt van oude methoden om wafers te drogen, is het erg eenvoudig om over te stappen op infraroodverwarming.
Het beste aan deze methode is dat je je geen zorgen meer hoeft te maken over het afval dat wordt geproduceerd of over de kosten voor ventilatie om de oplosmiddelgassen weg te halen. Het is de gemakkelijkste manier om aan de milieu-eisen te voldoen, zonder dat de productie vertraagt.
En de resultaten zijn beter. Er zijn geen storende restanten meer op de wafels, zoals je normaal gesproken ziet bij drogen met luchtdrogers. De wafels komen gewoon schoon uit de droogapparaten.