Pemanas inframerah untuk membaiki alat alat pembuatan semikonduktor

Sun, 21 Jun 2026 07:02:18 +0800

Di bilik pembaikan peralatan pengeluaran semikonduktor, proses pembaikan alat-alat tersebut bukanlah sesuatu yang boleh dijadualkan secara khusus. Ia merupakan usaha untuk memastikan proses pengeluaran berjalan lancar. Apabila pemanas pada alat pengeluaran semikonduktor rosak, diperlukan pemanasan yang cepat dan konsisten, agar suhu di kawasan yang terjejas dapat dikawal dengan baik—tanpa adanya zarah-zarah kontaminan.

Apa yang sebenarnya penting dalam reka bentuk pemanas ini
Kami membina pemanas inframerah gelombang pendek (NIR) untuk tujuan pembaikan peralatan pengeluaran semikonduktor. Pemanas ini direka untuk mencapai suhu yang diinginkan dengan cepat, serta memastikan suhu yang konsisten di seluruh permukaan wafer. Reka bentuk emitor kuarsa dan sistem pantulan dipilih agar dapat mengurangkan masalah suhu yang tidak sekata. Sistem kawalan berputar pula memastikan ketepatan suhu pada tahap ±0.1°C di kawasan yang aktif. Reka bentuk pemanas ini juga memastikan kebersihan udara di dalam bilik pengeluaran, dengan menggunakan bahan-bahan yang tidak mengeluarkan gas berbahaya, reka bentuk yang memenuhi standard Class 1–100, serta proses pemasangan yang mengelakkan kemasukan zarah kontaminan ke dalam proses pengeluaran semikonduktor. Untuk memastikan integriti proses pengeluaran, pemanas ini mampu mengekalkan suhu yang stabil sepanjang proses pembakaran fotoresist, sehingga kawalan ketebalan garis dan pengurangan kecacatan dapat dilakukan dengan baik.

Membaiki on Direct Infrared Heating Supply

Pemanas inframerah untuk membaiki alat alat pembuatan semikonduktor