Cara yang lebih baik untuk mengeringkan wafer MEMS: Mengapa kami beralih kepada penggunaan gelombang inframerah
Sejujurnya, kaedah pengeringan wafer secara tradisional merupakan cara yang kacau dan sukar. Anda perlu berhadapan dengan pelarut kimia, logam berat, serta bahan-bahan berbahaya yang boleh merosakkan kebersihan bilik kawalan.
Kami memutuskan untuk meninggalkan kaedah tersebut. Kini, kami menggunakan haba inframerah untuk mengeringkan wafer. Kaedah ini lebih bersih, lebih mesra alam, dan hasilnya juga lebih baik.
Bagaimana ia berfungsi?
Kebanyakan orang berfikir tentang penggunaan oven, di mana udara dipanaskan agar dapat mengeringkan permukaan wafer. Namun, cara ini sangat lambat.
Haba inframerah pula berbeza. Ia seperti berada di bawah sinar matahari pada petang bulan Julai. Lampu inframerah menghantar radiasi elektromagnetik terus ke permukaan wafer. Kita menyesuaikan frekuensi gelombang tersebut agar sesuai dengan frekuensi yang disukai oleh molekul air, sehingga kelembapan dapat dikeluarkan dengan cepat.
Prosesnya sangat cepat—sangatlah cepat. Dari menunggu beberapa minit, kini kita hanya perlu menunggu beberapa saat sahaja. Selain itu, mesin-mesin ini juga lebih kecil, jadi ruang yang diperlukan juga berkurangan. Kos tenaga elektrik juga berkurangan.
Cabaran yang perlu dihadapi (dan cara kami mengatasinya)
Untuk memastikan proses pengeringan benar-benar bebas daripada bahan berbahaya, kami menggunakan lampu berbingkai kuarsa dengan filamen berkualiti tinggi. Lampu ini tidak akan melepaskan toksin ketika dipanaskan, yang tentunya sangat bagus untuk mereka yang bekerja di fasiliti ini.
Namun, ada cabarannya: haba inframerah menghasilkan banyak haba dalam ruang yang kecil. Jika wafer memiliki ketebalan yang berbeza atau terdiri daripada bahan-bahan yang berbeza, maka akan timbul “titik panas”. Jika tidak berhati-hati, struktur silikon tersebut boleh rosak. Untuk mengelakkan hal ini, kami menggunakan sumber tenaga berbentuk pulsa agar struktur MEMS tetap utuh. Kami juga memastikan kelajuan pemindahan wafer dan jarak antara lampu berada pada tahap yang tepat.
Apa maksudnya bagi operasi di fasiliti ini?
Jika anda masih menggunakan kaedah pengeringan kimia yang lama, beralih kepada penggunaan gelombang inframerah merupakan langkah yang mudah.
Yang paling baik ialah anda tidak perlu risau lagi tentang cara membuang sisa buangan berbahaya atau perlu mengeluarkan kos yang banyak untuk sistem pengudaraan yang efektif. Ini merupakan cara termudah untuk mematuhi peraturan alam sekitar tanpa melambatkan proses pengeluaran.
Hasilnya juga lebih baik. Tidak akan ada kesan sisa yang menjengkelkan pada permukaan wafer. Wafer akan keluar dalam keadaan bersih.