Di bilik pengeluaran, kitaran SRD boleh menyebabkan penurunan kualiti bahan yang dihasilkan dengan cepat. Lampu yang tidak berfungsi dengan baik akan menyebabkan kemunculan kesan air pada permukaan bahan tersebut, meningkatkan jumlah zarah buangan, dan seterusnya menjadikan bahan berkualiti tinggi sebagai bahan sisa. Kami telah mencipta lampu inframerah SRD untuk mengatasi masalah ini.
Apa yang penting dalam fungsi lampu ini
Lampu ini menggunakan pancaran inframerah gelombang pendek bersama-sama dengan optik kuarsa, supaya tenaga dapat disalurkan secara langsung ke fasa pencucian dan pengeringan. Kestabilan suhu di dalam bilik tersebut kekal dalam lingkungan ±0.1°C, jadi setiap wafer akan mendapat suhu yang sama. Perubahan tetapan suhu berlaku dalam masa kurang dari 200 ms, sehingga membolehkan kawalan yang tepat tanpa berlaku penyimpangan.
Lampu ini sesuai digunakan dalam bilik bersih dari Kelas 1 hingga Kelas 100. Badan lampu direka agar tertutup rapat, dan laluan pancaran cahaya dipastikan tidak menghasilkan zarah buangan. Keluaran cahaya tetap stabil selama lebih dari 5,000 jam, dengan variasi intensiti cahaya kurang dari 5%.
Mengapa lampu ini sesuai untuk digunakan dalam SRD
Dalam proses SRD, apa yang penting adalah proses pengeringan yang konsisten, tanpa merosakkan lapisan fotorezist atau corak pada permukaan wafer. Pancaran cahaya yang cepat dari lampu ini memastikan suhu di dalam bilik tetap pada tahap yang ditetapkan, sekaligus memastikan integriti lapisan fotorezist kekal utuh selepas proses pembakaran.
Hasilnya, proses pengeringan menjadi lebih konsisten, kekerapan kecacatan berkurangan, dan jumlah bahan yang perlu diperbaiki juga berkurangan. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana pancaran cahaya berlaku dengan cepat dan stabil, sehingga tiada haba berlebihan yang terhasil. Masa operasi lampu juga bertambah baik, kerana komponen lampu direka untuk beroperasi 24/7, dan struktur lampu juga direka untuk tahan lama.
Butiran yang memastikan lampu ini berfungsi dengan baik
Lampu ini sesuai digunakan dalam sistem SRD yang standard, tetapi integrasinya perlu disesuaikan dengan geometri alat, aliran udara, dan sifat pemancaran cahaya dinding bilik tersebut. Semak dengan teliti antaramuka pemasangan serta beban haba pada sistem penyejukan; jika penyejukan tidak berfungsi dengan baik, kestabilan suhu akan terjejas.
Adakan ujian pendek untuk menyesuaikan tetapan lampu agar sesuai dengan keadaan wafer dan proses pengeluaran anda.