Mari kita bincangkan tentang penggunaan teknologi pengeringan menggunakan sinar inframerah untuk wafer. Jika anda bekerja di fasiliti pengeluaran semikonduktor yang tidak menggunakan plumbum, pasti anda tahu bahawa proses pengeringan dan penyembuhan wafer boleh menjadi sangat rumit. Itulah sebabnya kebanyakan orang kini menggunakan teknologi pengeringan menggunakan sinar inframerah.
Bayangkanlah begitu: penggunaan ketuhar konveksi ibarat cuba memanaskan bilik dengan pemanas ruangan – anda perlu memanaskan semua udara terlebih dahulu. Sebaliknya, sinar inframerah pula ibarat berada di bawah cahaya matahari; tenaga tersebut sampai terus ke permukaan wafer. Tiada keperluan untuk menggunakan bahan kimia atau gas dalam jumlah yang banyak. Hanya haba sahaja yang digunakan.
Bagaimana tenaga bergerak?
Kita menggunakan pemancar gelombang pendek dan sederhana kerana ia dapat menyerap haba tepat pada kawasan yang diperlukan oleh bahan fotoresist atau bahan pelekat. Yang terbaik ialah haba tersebut tidak berlegar-legar di dalam bilik tersebut, tetapi langsung masuk ke permukaan wafer dan bertukar menjadi tenaga haba. Ini merupakan cara yang lebih efisien untuk memanaskan wafer. Anda tidak perlu menggunakan tenaga yang banyak hanya untuk memanaskan kotak keluli yang besar, sedangkan yang perlu dipanaskan hanyalah wafer berukuran 300mm sahaja.
Keseimbangan antara jarak dan kepadatan haba
Inilah yang agak rumit. Jarak antara lampu dan wafer menentukan kepadatan haba yang dihasilkan. Jika jaraknya terlalu dekat, bahagian tepi wafer akan rosak akibat haba yang berlebihan. Namun, jika jaraknya terlalu jauh, masa yang diperlukan untuk memproses wafer akan menjadi lebih lama. Kita perlu menyesuaikan jarak fokus agar haba dapat tersebar secara merata di seluruh permukaan wafer. Memandangkan solder tanpa plumbum mempunyai titik lebur yang lebih tinggi daripada solder yang mengandungi plumbum, kita memerlukan lampu berkuasa tinggi untuk memanaskan wafer dengan cepat.
Kelemahan teknologi ini
Walaupun proses pengeringan menggunakan sinar inframerah sangat efisien, ia juga memberi tekanan yang besar pada peralatan yang digunakan. Anda tidak boleh sekadar menyambungkan mesin ini ke soket elektrik dan melupakan perkara tersebut. Kepadatan haba yang diperlukan untuk proses ini sangat tinggi. Jika sistem penyejukan tidak mencukupi, reflektor lampu akan rosak, dan kabelnya juga akan rosak. Tanpa sistem penyejukan yang baik, lampu tersebut akan rosak lebih awal daripada yang sepatutnya.
Ia merupakan pertukaran yang mudah: anda dapat mengelakkan pelepasan bahan beracun dan mengurangkan kos tenaga. Namun, anda perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Ini merupakan cara yang lebih baik berbanding menggunakan kaedah pemanasan tradisional.