국제 산업 히터 무역 팹

Fri, 05 Jun 2026 04:37:36 +0800

높은 생산량의 팹에서 웨이퍼 온도는 즉흥적으로 조정하는 “변수”가 아니라 수율 방정식의 고정된 부분입니다. 포토레지스트 처리 또는 웨이퍼 건조 중 반도체 온도가 반도체 두께 불균일성과 패턴 결함으로 이어질 수 있으며, 이를 전기 테스트에서 확인하게 되면 이미 스크랩 비용이 비쌉니다. 우리는 공정 수준에서 이러한 변동성을 제거하기 위해 적외선 히터를 설계했습니다.

기술적으로 중요한 사항

우리의 단파 적외선 시스템은 척 전반에 걸쳐 ±0.1°C의 웨이퍼 수준 열 균일성을 유지하며, 2초 이내에 새로운 세트포인트에 도달합니다. 히터 요소는 석영-할로겐으로, 스펙트럼 제어가 철저하므로 에너지가 주변 하드웨어를 가열하지 않고 포토레지스트와 기판으로 직접 전달됩니다. 제어는 폐쇄 루프 방식이며, 센서는 공정 레시피—소프트 베이크, 하드 베이크, 경화—에 직접적으로 보정되고 매핑되어 온도 재현성이 배치 간 추적 가능합니다. 하드웨어는 클린룸 준비가 되어 있으며, Class 1–100 환경과 호환되는 표면을 가지고 있으며, 정상 상태 작동 중 입자 발생은 제로로 유지됩니다.

플렉서블 디스플레이 건조 램프 팹

Mon, 01 Jun 2026 02:57:06 +0800

트랙 상에서 기판은 일정하고 예측 가능한 리듬으로 움직인다—조용하고 반복 가능하다. 포토레지스트가 도포되고, 에지 비드가 제거되며, 웨이퍼가 베이크 챔버로 슬라이딩된다. 여기서 열 예산을 고정한다: 솔벤트를 제거하는 소프트 베이크, 접착력을 고정하고 현상 거동을 안정화하는 하드 베이크다.
플렉서블 기판에서는 유리에서와 같은 관용성이 없다. 온도 불균일성은 단순한 라인 폭 오프셋이 아니다. 그것은 스택 내에 응력을 가중시키고, 박리 현상을 유발하며, 전체 필름에 그림자를 드리우는 입자를 발생시킨다. 베이크 램프가 정상 작동하지 않으면, 레티클이 스텝하기도 전에 결함 예산을 초과하게 된다.

패브 on Direct Infrared Heating Supply

국제 산업 히터 무역 팹

기술적으로 중요한 사항

플렉서블 디스플레이 건조 램프 팹