http://ir-heat-direct.com/ko/tags/%ED%8A%B8%EB%A1%A4%EB%A6%AC/ Recent content in 트롤리 on Direct Infrared Heating Supply Hugo ko Fri, 10 Jul 2026 12:09:50 +0800 http://ir-heat-direct.com/ko/posts/semiconductor-clean-room-trolley-heater/ Fri, 10 Jul 2026 12:09:50 +0800 http://ir-heat-direct.com/ko/posts/semiconductor-clean-room-trolley-heater/ <p><img src="http://ir-heat-direct.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="반도체 청정실용 카트형 히터"></p> <p>왜 반도체 처리 과정에서 강제 공기 순환 방식을 IR 방식으로 바꾸는가?<br> 만약 이전 세대의 청정실에서 작업해본 적이 있다면, 그 방식이 어떤 것인지 잘 알 것입니다. 오래된 방식의 카트를 사용하여 뜨거운 공기를 불어넣어 웨이퍼의 온도를 유지합니다.<br> 문제는 속도가 너무 느리다는 점입니다. 강제 공기 순환이란 대류 현상에 의존하는 방식인데, 결국은 공기가 서서히 웨이퍼를 따뜻하게 만들기를 기다려야 합니다. 고성능 처리 라인에서는 이러한 지연 시간이 단순히 성가신 것이 아니라, 비용적으로도 큰 부담이 됩니다.</p>