http://ir-heat-direct.com/ko/tags/%EC%9C%A0%EC%97%B0%ED%95%9C/ Recent content in 유연한 on Direct Infrared Heating Supply Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 02:57:06 +0800 http://ir-heat-direct.com/ko/posts/flexible-display-drying-lamp-fab/ Mon, 01 Jun 2026 02:57:06 +0800 http://ir-heat-direct.com/ko/posts/flexible-display-drying-lamp-fab/ <p><img src="http://ir-heat-direct.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="플렉서블 디스플레이 건조 램프 팹"></p> <p>트랙 상에서 기판은 일정하고 예측 가능한 리듬으로 움직인다—조용하고 반복 가능하다. 포토레지스트가 도포되고, 에지 비드가 제거되며, 웨이퍼가 베이크 챔버로 슬라이딩된다. 여기서 열 예산을 고정한다: 솔벤트를 제거하는 소프트 베이크, 접착력을 고정하고 현상 거동을 안정화하는 하드 베이크다.<br> 플렉서블 기판에서는 유리에서와 같은 관용성이 없다. 온도 불균일성은 단순한 라인 폭 오프셋이 아니다. 그것은 스택 내에 응력을 가중시키고, 박리 현상을 유발하며, 전체 필름에 그림자를 드리우는 입자를 발생시킨다. 베이크 램프가 정상 작동하지 않으면, 레티클이 스텝하기도 전에 결함 예산을 초과하게 된다.</p>