http://ir-heat-direct.com/ko/tags/%EB%B6%80%EB%93%9C%EB%9F%AC%EC%9A%B4/ Recent content in 부드러운 on Direct Infrared Heating Supply Hugo ko Mon, 29 Jun 2026 07:52:08 +0800 http://ir-heat-direct.com/ko/posts/infrared-soft-bake-lamp/ Mon, 29 Jun 2026 07:52:08 +0800 http://ir-heat-direct.com/ko/posts/infrared-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-direct.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="적외선 소프트 베이크 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서는, 부드러운 가열 과정 중에 발생하는 온도 변동이 문제가 됩니다. 이러한 변동은 CD-SEM이 이상 신호를 보내기 전까지는 알아차리기 어렵습니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.5°C의 온도 차이가 생기면, 중요한 치수 제어가 불가능해집니다. 저희는 이러한 온도 변동을 최소화하기 위해 적외선 가열 장치를 개발했습니다.</p>