http://ir-heat-direct.com/ko/tags/%EA%B0%9C%EB%B0%9C%EC%9E%90/ Recent content in 개발자 on Direct Infrared Heating Supply Hugo ko Sat, 27 Jun 2026 05:31:04 +0800 http://ir-heat-direct.com/ko/posts/coater-developer-infrared-heater/ Sat, 27 Jun 2026 05:31:04 +0800 http://ir-heat-direct.com/ko/posts/coater-developer-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-direct.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="코팅기 개발용 적외선 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크나 하드 베이크 시에 온도가 0.5도만 변동해도 그건 사소한 오차가 아닙니다. 이는 생산 효율에 심각한 영향을 미칩니다. 포토레지스트의 프로파일이 변하고, 중요한 치수들도 변하게 됩니다. 그 결과, 선들이 제대로 그려지지 않고 왜곡되는 현상이 발생합니다. 코팅기/현상기의 경우, 열 처리 과정에서 반복성이 유지되거나 반대로 떨어집니다.</p>