http://ir-heat-direct.com/ja/tags/%E9%96%8B%E7%99%BA%E8%80%85/ Recent content in 開発者 on Direct Infrared Heating Supply Hugo ja Sat, 27 Jun 2026 05:31:04 +0800 http://ir-heat-direct.com/ja/posts/coater-developer-infrared-heater/ Sat, 27 Jun 2026 05:31:04 +0800 http://ir-heat-direct.com/ja/posts/coater-developer-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-direct.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="コーター・デベロッパー用赤外線ヒーター"></p> <p>リソグラフィー工程において、ソフトベイクやハードベイク時の温度が半度程度変動しても、それは決して小さな誤差ではありません。これは歩留まりの低下を意味します。フォトレジストの特性が変わり、重要な寸法が狂ってしまい、描画される線も正確に描かれなくなります。コーター/デベロッパー装置においては、この熱処理の過程で再現性が保たれるかどうかが決まります。</p>