http://ir-heat-direct.com/ja/tags/%E7%84%BC%E3%81%8F/ Recent content in 焼く on Direct Infrared Heating Supply Hugo ja Mon, 29 Jun 2026 07:52:07 +0800 http://ir-heat-direct.com/ja/posts/infrared-soft-bake-lamp/ Mon, 29 Jun 2026 07:52:07 +0800 http://ir-heat-direct.com/ja/posts/infrared-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-direct.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="赤外線ソフトベイクランプ"></p> <p>リソグラフィー工程において、ソフトベイク時の<a href="https://o-yate.com">温度変動</a>は、CD-SEMが異常を示すまで気づかない、見えにくい要因です。ウェーハ全体で0.5℃の温度差が生じると、重要な寸法制御が失われてしまいます。私たちは、このような温度変動を根本的に抑えるために、赤外線ソフトベイクランプを開発しました。</p> <h3 id="内部で何が重要か">内部で何が重要か</h3> <p>私たちは、高速応答性のある石英素子を備えた短波長赤外線エミッターを使用しているため、加熱が迅速かつ局所的に行われます。熱遅延もほとんどありません。フォトレジストのソフトベイクにおいては、処理領域全体でのウェーハの均一性を±0.1℃以内に保ち、バッチ間の設定値の再現性も±0.5℃以内に抑えています。</p>