http://ir-heat-direct.com/ja/tags/%E6%B8%85%E6%8E%83/ Recent content in 清掃 on Direct Infrared Heating Supply Hugo ja Tue, 23 Jun 2026 01:16:04 +0800 http://ir-heat-direct.com/ja/posts/post-cleaning-wafer-infrared-heater/ Tue, 23 Jun 2026 01:16:04 +0800 http://ir-heat-direct.com/ja/posts/post-cleaning-wafer-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-direct.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="洗浄後ウェーハ用赤外線ヒーター"></p> <p>この装置を使用すれば、洗浄後の工程までを含めてあらゆる処理を行うことができます。しかし、ウェーハが均一に乾燥しなかったり、加熱条件にばらつきがあったりすると、依然として不良が発生します。温度の不均一さは、ウェーハ表面に水滴や傷、端部分の突起として現れます。私たちは、こうした問題を解決するために、洗浄後のウェーハ用の赤外線ヒーターを開発しました。これにより、ウェーハ表面で正確な温度制御が可能になります。</p> http://ir-heat-direct.com/ja/posts/wafer-carrier-cleaning-dryer/ Mon, 01 Jun 2026 20:49:23 +0800 http://ir-heat-direct.com/ja/posts/wafer-carrier-cleaning-dryer/ <p><img src="http://ir-heat-direct.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ウェーハキャリア洗浄乾燥機"></p> <p>製造現場で、ウェハキャリアが洗浄浴から出てくるのを見て、その後の乾燥工程に苦労するのを目の当たりにすることがあるでしょう。経験則として、残留水分、熱応力、そして<a href="https://o-yate.net">歩留</a>まりやフォトレジスト不良を直接引き起こす浮遊粒子の存在が問題となります。熱の均一性は妥協できる要素ではありません。</p>