http://ir-heat-direct.com/ja/tags/%E5%8F%8D%E5%B0%84%E5%99%A8/ Recent content in 反射器 on Direct Infrared Heating Supply Hugo ja Fri, 17 Jul 2026 08:16:58 +0800 http://ir-heat-direct.com/ja/posts/reflector-for-wafer-curing-lamp/ Fri, 17 Jul 2026 08:16:58 +0800 http://ir-heat-direct.com/ja/posts/reflector-for-wafer-curing-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-direct.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハ硬化ランプ用反射板"></p> <p>ファブでの<a href="https://o-yate.com">正確</a>な温度制御を実現するには<br> ウェーハを硬化させる際、熱は不可欠です。しかし、それは微妙なバランスが<a href="https://o-yate.net">必要</a>です。もし熱が均一に分配されなければ、ウェーハが変形したり、化学的な沈着物が生じたりしてしまいます。これを防ぐために、私たちは高反射率のIRシステムを利用します。つまり、そのエネルギーを再び基板に戻すのです。現代のスマートファブでは、単に「熱を強くする」だけではなく、リアルタイムでの温度測定や、本来無駄になってしまうエネルギーを回収することも重要です。</p> <h2 id="反射器の重要性">反射器の重要性</h2> <p>一般的な硬化ランプを考えてみてください。それは360度全方位にエネルギーを放出します。反射器がなければ、エネルギーの半分が無駄になってしまいます。<br> そのため、私たちは金コーティングされたり、高純度アルミニウム製の放物面反射器を使用します。これらの反射器によって、短波長のIR放射線が正確に必要な場所に集中されます。最良の点は、出力を上げることなく、ウェーハの温度を上げられることです。これにより、対象部分を高温に保ちつつ、他の部分は冷却されます。シンプルですね。</p>