http://ir-heat-direct.com/ja/tags/%E3%83%86%E3%83%95%E3%83%AD%E3%83%B3/ Recent content in テフロン on Direct Infrared Heating Supply Hugo ja Sun, 31 May 2026 05:14:51 +0800 http://ir-heat-direct.com/ja/posts/teflon-wire-for-semiconductor-heater/ Sun, 31 May 2026 05:14:51 +0800 http://ir-heat-direct.com/ja/posts/teflon-wire-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://ir-heat-direct.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="半導体ヒーター用テフロン線"></p> <p>フロア上で、その温度曲線は単なる指針ではない。プロセスそのものである。<br> わずかなズレでも生じるソフトベークは、フォトレジストの挙動に影響を与える。CD制御が乱れ、サイドウォールのプロファイルが乱れ、それに伴い歩留まりも低下する。ウェハ全体で均一でないハードベークは、スカムの発生、密着不良、そして数日にわたる不良品の追跡調査を招く。リソグラフィおよびフォトレジスト熱処理段階において、ヒーターの役割は一つだけである：環境を汚染することなく、指示通りに再現性のある熱を供給すること。</p>