Riscaldatore a infrarossi per wafer dopo la pulizia
Durante la fase di pulizia post-litografia, è possibile fare di tutto, fino al processo di essiccazione, ma si possono comunque verificare problemi...
Essiccatore per la pulizia dei portawafers
Sulla linea di produzione, osservi un portawafers uscire dal bagno di pulizia, per poi assistere alla fase di asciugatura che ti mette alla prova....