Un modo migliore per asciugare le wafer MEMS: perché abbiamo scelto l’uso delle onde infrarosse
Siamo onesti: il metodo tradizionale di asciugatura delle wafer è davvero disordinato. Bisogna fare i conti con solventi chimici, metalli pesanti e quei velenosi gas organici volatili che trasformano una sala pulita in qualcosa di simile a un laboratorio dove gli esperimenti chimici vanno storti.
Abbiamo deciso di abbandonare tutto questo. Ora utilizziamo il riscaldamento a onde infrarosse. È un metodo più pulito, ecologico, e funziona davvero meglio.
Come funziona realmente
La maggior parte delle persone pensa ai forni, in cui si riscalda l’aria e si spera che questa riscaldi anche la wafer. Ma questo processo è lento.
Le onde infrarosse invece funzionano diversamente: è come trovarsi al sole in una giornata di luglio. Le lampade emettono radiazioni elettromagnetiche direttamente sulla wafer. Regoliamo queste radiazioni affinché colpiscano proprio la frequenza che le molecole d’acqua preferiscono; in questo modo l’umidità viene eliminata rapidamente dalla superficie della wafer.
È molto veloce… davvero velocissimo.
Da dover attendere minuti, ora basta aspettare secondi. Inoltre, le macchine sono più piccole, quindi si ottiene più spazio disponibile, e i costi energetici diminuiscono.
I problemi e come li risolviamo
Per mantenere i processi completamente privi di sostanze tossiche, utilizziamo lampade con filamenti di alta purezza. Queste non rilasciano sostanze tossiche quando vengono riscaldate, il che rappresenta un grande vantaggio per chi deve respirare l’aria presente nella sala di produzione.
Tuttavia c’è un problema: le onde infrarosse generano molte calorie in uno spazio molto ridotto. Se la wafer ha spessori diversi o è composta da materiali misti, possono formarsi delle zone troppo calde. Se non si fa attenzione, il silicio può deformarsi. Per evitare questo, utilizziamo fonti di alimentazione a impulsi, in modo da proteggere le delicate strutture MEMS. Inoltre, prestiamo molta attenzione alla velocità di trasporto e alla distanza tra le lampade: tutti questi parametri devono essere perfetti.
Cosa significa per la produzione
Se ancora utilizzate metodi tradizionali di asciugatura, passare alle onde infrarosse è davvero semplice.
Il miglior vantaggio? Potete smettere di preoccuparvi dello smaltimento dei rifiuti pericolosi o di dover spendere un sacco di soldi per sistemi di ventilazione efficaci. È il modo più semplice per rispettare le normative ambientali senza rallentare la produzione.
Inoltre, i risultati sono migliori: non ci sono più quelle strisce di residui che si formano con i metodi tradizionali di asciugatura. Le wafer escono pulite.