Pengering Rambu on Direct Infrared Heating Supply

Pengontrol pemanggang inframerah digital

Mon, 20 Jul 2026 12:08:44 +0800

Mengapa kita beralih ke metode pengeringan inframerah untuk chip bebas timbal
Dunia semikonduktor akhirnya mulai meninggalkan metode pemanasan tradisional yang menggunakan oven panas dan zat pelarut. Sejujurnya, sudah waktunya untuk berubah. Kita kini beralih dari sistem pemanasan konvensional ke sistem pengeringan inframerah digital.

Apa perbedaannya? Metode inframerah menggunakan radiasi, bukan hanya udara panas. Ini merupakan cara yang lebih efisien, dan sangat penting agar proses produksi menjadi “ramah lingkungan” dan bebas timbal.

Cara kerjanya
Bayangkan oven biasa: oven tersebut memanaskan udara terlebih dahulu, lalu udara tersebutlah yang memanaskan permukaan substrat. Proses ini lambat, dan membutuhkan banyak energi. Selain itu, debu dan partikel di udara juga akan menempel pada wafer.

Pengering pembersih pembawa wafer

Mon, 01 Jun 2026 20:49:23 +0800

Di lantai fab, Anda mengamati wafer carrier keluar dari bak pembersih, lalu menyaksikan tahap pengeringan yang justru menjadi tantangan. Anda sudah paham risiko—kelembapan sisa, stres termal, dan partikel udara yang langsung menembus hingga menyebabkan cacat pada yield dan photoresist. Keseragaman termal bukan sesuatu yang bisa Anda pertaruhkan.

Apa yang sebenarnya penting di balik proses

Pengering pembersih wafer carrier ini mempertahankan keseragaman termal ±0,1°C di seluruh ruang kamar, sehingga tidak terjadi titik panas atau dingin yang merusak stabilitas photoresist selama soft bake dan hard bake. Perangkat ini dirancang untuk cleanroom Kelas 1–100, dengan aliran udara laminar dan filtrasi HEPA yang menjaga jumlah partikel di bawah 0,3 μm dengan efisiensi 99,99%.