Cara yang Lebih Baik untuk Mengeringkan Wafer MEMS: Mengapa Kami Beralih ke Metode IR
Sejujurnya, metode pengeringan wafer secara tradisional merupakan proses yang rumit. Kita harus berhadapan dengan pelarut kimia, logam berat, serta zat-zat berbahaya lainnya. Hal ini membuat ruang laboratorium menjadi tidak nyaman, seolah-olah bukan laboratorium melainkan tempat percobaan kimia yang gagal.
Kami memutuskan untuk meninggalkan metode tersebut. Sekarang, kami menggunakan metode pemanasan inframerah (IR). Metode ini lebih bersih, lebih ramah lingkungan, dan hasilnya juga lebih baik.
Bagaimana cara kerjanya?
Kebanyakan orang mengira bahwa pemakaian oven merupakan cara yang efektif untuk mengeringkan benda. Namun, cara ini membutuhkan waktu yang lama. Berbeda dengan IR. IR bekerja seperti sinar matahari di siang hari. Lampu IR mengirimkan radiasi elektromagnetik langsung ke permukaan wafer. Frekuensi radiasi ini disesuaikan sedemikian rupa sehingga sesuai dengan frekuensi yang disukai oleh molekul air. Dengan demikian, uap air dapat dihilangkan dengan cepat dari permukaan wafer. Prosesnya sangat cepat.
Dulu, kita perlu menunggu beberapa menit untuk mengeringkan wafer. Sekarang, kita hanya perlu menunggu beberapa detik saja. Selain itu, mesinnya juga lebih kecil, sehingga ruang yang diperlukan pun berkurang. Biaya listrik pun berkurang.
Masalah yang muncul, dan bagaimana kami mengatasinya
Untuk memastikan bahwa proses pengeringan benar-benar bebas dari zat berbahaya, kami menggunakan lampu berbahan kuarsa dengan filamen berkualitas tinggi. Lampu ini tidak akan melepaskan racun saat dipanaskan, sehingga sangat aman bagi mereka yang bernapas di ruangan tersebut.
Namun, ada tantangan tersendiri: IR menghasilkan banyak panas dalam ruang yang sangat kecil. Jika wafer memiliki ketebalan yang berbeda atau terbuat dari bahan campuran, maka bisa saja terjadi “titik panas” pada permukaan wafer. Jika tidak hati-hati, struktur silikonnya bisa rusak. Untuk menghindari hal ini, kami menggunakan sumber daya listrik yang terkontrol, sehingga struktur MEMS tetap aman. Kami juga memperhatikan kecepatan konveyor dan jarak antara lampu dengan wafer. Semuanya harus disesuaikan dengan tepat.
Apa artinya ini bagi proses produksi?
Jika Anda masih menggunakan metode pengeringan kimia yang tradisional, beralih ke metode IR merupakan langkah yang mudah. Yang terbaik adalah Anda tidak perlu lagi khawatir tentang penanganan limbah berbahaya atau mengeluarkan biaya besar untuk sistem ventilasi. Ini merupakan cara termudah untuk memenuhi standar lingkungan tanpa menghambat proses produksi. Hasilnya pun lebih baik. Tidak ada lagi noda yang menyebalkan akibat proses pengeringan menggunakan udara. Wafer akan keluar dalam kondisi yang bersih.