http://ir-heat-direct.com/he/tags/bake/ Recent content in Bake on Direct Infrared Heating Supply Hugo he Mon, 29 Jun 2026 07:52:09 +0800 http://ir-heat-direct.com/he/posts/infrared-soft-bake-lamp/ Mon, 29 Jun 2026 07:52:09 +0800 http://ir-heat-direct.com/he/posts/infrared-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-direct.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="מנורת אפייה באינפרא אדום"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, סטיות בטמפרטורת החימום העדין הן הגורם הנסתר שפוגע באיכות המוצר – גורם שאינו נראה עד שהציוד CD-SEM מתחיל להראות סימני בעיה. שינוי של 0.5°C בטמפרטורה בין אזורים שונים של הוואפר יגרום לכך ששליטה בממדים הקריטיים של הוואפר תיפגע. פיתחנו מנורות חימום באינפרא-אדום שמסייעות להפחית את הסטיות האלו מהשורש.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> אנו משתמשים בגלאי אינפרא-אדום בעלי תגובה מהירה, כך שהחימום יהיה מהיר וממוקד. העיכוב התרמי הוא מינימלי. בתהליך החימום העדין של הפוטורזיסט, אנו שומרים על אחידות בטמפרטורה ברמה של ±0.1°C בכל אזור בוואפר, והדיוק של הטמפרטורה נשאר ברמה של ±0.5°C בין סדרות הייצור השונות.</p>