בתהליך הליתוגרפיה, סטיות בטמפרטורת החימום העדין הן הגורם הנסתר שפוגע באיכות המוצר – גורם שאינו נראה עד שהציוד CD-SEM מתחיל להראות סימני בעיה. שינוי של 0.5°C בטמפרטורה בין אזורים שונים של הוואפר יגרום לכך ששליטה בממדים הקריטיים של הוואפר תיפגע. פיתחנו מנורות חימום באינפרא-אדום שמסייעות להפחית את הסטיות האלו מהשורש.
מה חשוב באמת? אנו משתמשים בגלאי אינפרא-אדום בעלי תגובה מהירה, כך שהחימום יהיה מהיר וממוקד. העיכוב התרמי הוא מינימלי. בתהליך החימום העדין של הפוטורזיסט, אנו שומרים על אחידות בטמפרטורה ברמה של ±0.1°C בכל אזור בוואפר, והדיוק של הטמפרטורה נשאר ברמה של ±0.5°C בין סדרות הייצור השונות.
הטמפרטורה מותאמת באופן מדויק לצרכי הפוטורזיסט – אין עודף חימום או חימום לא מספיק. בנוסף, אנו שומרים על רמת אפס של יצירת חלקיקים. ראש המנורה מתאים לחדרי עבודה נקיים מסוג Class 1–100, והתכונות התרמיות שלו עומדות בתקנים הבינלאומיים לציוד שבבי. זו שיטה שכבר הוכיחה את עצמה במפעלים.
למה זה חשוב בייצור? התוצאה היא ביצועים יציבים של הממדים הקריטיים, מה שאומר פחות צורך בעבודה חוזרת. החימום המהיר מקצר את זמן התהליך מבלי לפגוע באיכות, כך שהקצב התפוקה עולה. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהחום מופנה למקום הנכון, ולא לחימום קירות התא.
האמינות של הציוד היא מובנת מאליה – הציוד יכול לעבוד למעלה מ-5,000 שעות עם ירידה בתפוקה של פחות מ-5%. כך ניתן להמשיך את תהליך הייצור 24/7, ולהפחית את ההתערבויות הבלתי צפויות.
הפרטים הטכניים ההתקנה כוללת התאמת גודל המנורה והחיבורים שלה למערכות הקיימות. ייתכן צורך בהתאמות מכניות וחשמליות קלות – אך אין צורך בפעולות מורכבות. כדי להגדיר את הפרמטרים התרמיים, נדרש זמן קצר בלבד. לאחר ההתאמה, הפרמטרים נשארים יציבים.