Chauffage de séchage de la tranche du capteur MEMS

Mon, 27 Jul 2026 09:51:30 +0800

Une façon plus efficace de sécher les wafer MEMS : pourquoi nous avons choisi l’infrarouge
Pour être honnête, le séchage traditionnel des wafer est un véritable désastre. Il faut utiliser des solvants chimiques, des métaux lourds, ainsi que des composés organiques volatils qui transforment une salle propres en véritable laboratoire en déroute.
Nous avons décidé d’abandonner tout cela. Nous utilisons maintenant le chauffage par infrarouges. C’est plus propre, plus écologique, et ça fonctionne mieux.
Comment ça marche ?
La plupart des gens pensent aux fours, où l’air est chauffé et espère ainsi chauffer la pièce à sécher. C’est lent.
L’infrarouge, c’est différent. C’est comme se trouver au soleil par une journée de juillet. Les lampes émettent des rayonnements électromagnétiques directement vers le wafer. Nous ajustons cette fréquence pour qu’elle corresponde à celle préférée par les molécules d’eau, ce qui permet de faire disparaître l’humidité de la surface du wafer en un instant.
C’est rapide. Vraiment très rapide.
On passe de minutes d’attente à quelques secondes seulement. De plus, les machines sont plus petites, ce qui permet d’économiser de l’espace. Les coûts d’énergie diminuent également.
Les défis (et comment nous les surmontons)
Pour garantir une séchage vraiment sans produits toxiques, nous utilisons des lampes dotées de filaments de haute pureté. Elles ne libèrent aucune substance toxique lorsqu’elles se réchauffent, ce qui est un grand soulagement pour ceux qui travaillent dans cet environnement.
Mais il y a un problème : l’infrarouge génère beaucoup de chaleur dans un espace très restreint. Si les wafer ont des épaisseurs différentes ou sont composés de matériaux variés, cela peut provoquer des points chauds. Sans précaution, le silicium peut se déformer. Pour éviter cela, nous utilisons des alimentations pulsées afin de protéger les structures fragiles des MEMS. Nous accordons également une grande importance à la vitesse de transport des wafer et à la distance entre les lampes. Tout doit être parfaitement réglé.
Quel impact cela a-t-il sur le travail ?
Si vous utilisez encore des systèmes de séchage chimique, passer à l’infrarouge est assez simple.
Le meilleur aspect ? Vous n’avez plus à vous soucier de l’élimination des déchets dangereux, ni de dépenser beaucoup d’argent en systèmes de ventilation pour évacuer les vapeurs de solvants. C’est la manière la plus simple de respecter les exigences environnementales sans ralentir votre production.
De plus, les résultats sont meilleurs. Il n’y a plus ces traces gênantes causées par le séchage par air. Les wafer sortent propres.

MEMS on Direct Infrared Heating Supply

Chauffage de séchage de la tranche du capteur MEMS