Dans une usine à volume élevé, la température des wafers n’est pas une « variable » que vous ajustez à la volée, c’est une partie fixe de l’équation de rendement. Un dérive de moitié de degré pendant le traitement du photoresist ou le séchage des wafers peut se manifester plus tard sous forme de non-uniformité d’épaisseur et de défauts de motif, et vous ne le voyez qu’au test électrique, lorsque le rebut est déjà coûteux. Nous avons conçu nos chauffages infrarouges pour éliminer cette variabilité au niveau du processus.
Ce qui est important, techniquement
Nos systèmes infrarouges à ondes courtes maintiennent l’uniformité thermique au niveau du wafer dans une fourchette de ±0,1°C sur le chuck, et ils se stabilisent sur un nouveau point de consigne en moins de 2 secondes. Les éléments chauffants sont en quartz-halogène, avec un contrôle spectral précis, donc l’énergie va directement dans le photoresist et le substrat sans cuire le matériel environnant. Le contrôle est en boucle fermée, et les capteurs sont calibrés et mappés directement au processus de recette—soft bake, hard bake, et cure—de sorte que la répétabilité de la température soit traçable de lot à lot. Le matériel est prêt pour les salles blanches, avec des surfaces compatibles avec des environnements de Classe 1 à 100, et la génération de particules reste à zéro pendant le fonctionnement à l’état stable.
Pourquoi cela tient en production
Dans les cellules de lithographie, le soft bake est l’endroit où vous définissez la viscosité du photoresist et évacuez le solvant. Trop peu d’énergie et vous obtenez un bord de wafer ; trop et votre contrôle des dimensions critiques commence à dériver. Notre module infrarouge atteint la température exactement là où la recette le demande, ce qui réduit le retravail et resserre la cohérence de la largeur des lignes. Le même chauffage rapide et uniforme est également important après le nettoyage. Lorsque vous séchez les wafers, vous éliminez l’humidité sans choc thermique—pas de micro-ponts, pas de traces d’eau. En résumé, cela signifie moins d’excursions, un budget thermique stable, et un temps de fonctionnement pouvant supporter une production 24/7. Et parce que l’énergie est délivrée directement et uniquement lorsque la recette le demande, vous ne gaspillez pas d’énergie.
Ce que vous devez bien comprendre dès le départ
L’installation consiste à adapter l’emprise du chauffage et l’interface à l’outil de transport ou de revêtement—type de connecteur, dégagements mécaniques, tout le montage. Le système fonctionne le mieux lorsque la chambre et le chuck correspondent à l’émissivité infrarouge et à la masse thermique du processus ; sinon, la convergence du point de consigne peut dériver. Planifiez le budget thermique sur l’ensemble de la séquence—pré-chauffage, maintien, montée en température—sinon vous risquez de « skin » le photoresist. Lorsqu’il est intégré correctement, l’unité fonctionne avec un minimum de maintenance et fournit une sortie cohérente pendant plus de 5 000 heures.