در سالن تولید، مشاهده میکنید که حامل ویفر از وان شستشو خارج میشود، اما مرحله خشککردن با شما مقابله میکند. شما روند کار را میدانید—رطوبت باقیمانده، تنش حرارتی و ذرات معلق در هوا که مستقیماً به نقص در بازده و فوتورزیست منجر میشوند. یکنواختی حرارتی چیزی نیست که بتوان روی آن ریسک کرد.
آنچه در واقع زیر سطح اهمیت دارد
این خشککننده حامل ویفر یکنواختی حرارتی ±0.1°C را در سراسر محفظه حفظ میکند، بنابراین نقاط گرم و سردی که ثبات فوتورزیست را در طول پخت نرم و پخت سخت مختل میکنند، ایجاد نمیشود. این دستگاه برای اتاق تمیز کلاس 1–100 طراحی شده است، با جریان هوای لامینار و فیلتر HEPA که شمار ذرات زیر 0.3 میکرومتر را با کارایی 99.99٪ کنترل میکند.
تولید صفر ذره شعار نیست—یک مشخصه فنی است که با متولوژی خطی تأیید میشود. تکرارپذیری پروفایل حرارتی در هر سیکل در محدوده ±0.2٪ باقی میماند، که باعث حفظ پایداری فرآیند از یک اجرا به اجرای بعدی، روی هزاران ویفر میشود.
چرا این موضوع در لیتوگرافی و پردازش فوتورزیست اهمیت دارد
بودجه حرارتی در لیتوگرافی یک حد سخت است. این خشککننده لایه فوتورزیست را دستنخورده نگه میدارد، از ایجاد برجستگی لبه جلوگیری میکند و نوسانات TTOP را که در صورت عدم کنترل گرادیانهای دما ظاهر میشود، حذف میکند.
نتیجه این کار کاهش تعداد دستههای اصلاحی، کنترل دقیقتر ابعاد بحرانی و عملکرد عرض خط است که میتوان روی آن حساب کرد. مصرف انرژی به دلیل استفاده از گرمکننده با بازیافت بالا و چرخهکاری هوشمند کاهش مییابد—بدون کاهش سرعت افزایش دما.
آنچه باید برای آن برنامهریزی کنید
برق سهفاز 208 V اختصاصی و اتصال به سیستم خروجی اتاق تمیز برای حفظ فشار منفی لازم است. نصب دستگاه یک شیفت طول میکشد، اما در طول تأیید صلاحیت باید نقشهبرداری حرارتی کامل در کل سطح حامل انجام شود.
یک بازه چهار ساعته برای اعتبارسنجی اختصاص دهید تا دستورالعمل فرآیند نهایی شده و یکنواختی در هر جایگاه تأیید شود.