Calentador por infrarrojos para recubrimiento y revelado

Sat, 27 Jun 2026 05:31:04 +0800

En el proceso de litografía, una desviación de medio grado Celsius durante el proceso de secado suave o duro no es algo insignificante; se trata de una pérdida en la calidad del producto final. Los perfiles del fotorrésistente cambian, las dimensiones críticas se alteran, y el proceso deja de funcionar de manera eficiente. En los sistemas de recubrimiento y revelado, el paso térmico es crucial para mantener la reproducibilidad del proceso.

Precisión en el calentamiento por infrarrojos: uniformidad y reproducibilidad a nivel submilimétrico
Hemos diseñado el calentador por infrarrojos para que funcione con ondas cortas de tipo NIR, con una distribución radiante optimizada. El resultado es un campo térmico con una uniformidad a nivel submilimétrico en toda la superficie de la oblea, lo que permite un control preciso de la temperatura dentro de unos límites muy estrechos. La reproducibilidad se logra mediante una calibración en bucle cerrado y un control estable de la emisividad, de modo que cada proceso de secado tenga resultados similares, batch tras batch. No se trata de alcanzar la temperatura máxima, sino de controlar todo el volumen térmico al que está expuesto el fotorrésistente.

Revestidor on Direct Infrared Heating Supply

Calentador por infrarrojos para recubrimiento y revelado