Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Fri, 24 Jul 2026 12:08:32 +0800

Verhindern Sie, dass Ihre IR-Lampen Ihre Produktion ruinieren
Wenn Sie mit hoher Belastung Halbleiter produzieren, kennen Sie sicherlich das schreckliche Szenario: Eine IR-Lampe geht kaputt.
Es geht nicht nur darum, dass der Heizkreis ausfällt – es entsteht außerdem ein riesiger Unrat. Wenn eine Quarzröhre versagt, wird Ihr Gerät sofort mit Glassplittern und Metallstaub überschüttet. So kann man ganze Chargen von Wafern in kürzester Zeit ruinieren. Das ist frustrierend, teuer – und eigentlich vermeidbar.
Deshalb bauen wir unsere Lampen unter Berücksichtigung des „schlimmsten Falls“.

Infrarotheizgerät für die Reparatur von Fertigungsanlagen

Sun, 21 Jun 2026 07:02:17 +0800

Im Fertigungsbereich ist die Reparatur von Werkzeugen keine Aufgabe, die man einfach planen kann. Es geht vielmehr darum, die Produktionslinie am Laufen zu halten. Wenn beispielsweise die Heizung eines Beschichtungsgeräts, eines Anodenmoduls oder einer Prüfstation ausfällt, ist es notwendig, dass die Wärme schnell wieder zur Verfügung steht, sofort wirkt und eine konstante Temperatur aufrechterhält – ohne dass dabei Partikel entstehen.

Was wirklich wichtig ist Wir entwickeln Kurzwellen-Infrarotheizer für die Reparatur von Fertigungswerkzeugen. Diese Heizer sind so ausgelegt, dass sie schnell auf die gewünschte Temperatur kommen und eine konstante Temperatur auf der Waferoberfläche gewährleisten. Die Geometrie des Quarzemitter sowie die Anordnung der Reflektoren sorgen dafür, dass es keine Hotspots oder Temperaturunterschiede an den Rändern gibt. Die Schleife-Kontrolle sorgt dafür, dass die Temperatur innerhalb der Aktivzone bei ±0,1°C bleibt. Zudem werden Materialien verwendet, die wenig Gase abgeben, und die Konstruktion entspricht den Anforderungen der Klasse 1–100. Der Montageprozess wird so gestaltet, dass keine Verunreinigungen in den Photoresistprozess gelangen. Damit bleibt die Temperatur während des Prozesses stabil, was wiederum dazu beiträgt, dass die Linienbreite kontrolliert bleibt und Fehler vermieden werden.

```Python on Direct Infrared Heating Supply

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Infrarotheizgerät für die Reparatur von Fertigungsanlagen