IR on Direct Infrared Heating Supply

Keramische Endkappe für IR Emitter

Tue, 28 Jul 2026 05:32:20 +0800

Hören Sie auf, Energie an Ihren Wafern zu verschwenden!
Seien wir ehrlich: Bei der Verarbeitung von Wafern bedeutet jeder verschwendete Watt einfach Geldverlust für Ihr Unternehmen. Wenn Sie einen Infrarotstrahler einschalten, möchten Sie, dass die Energie direkt auf die Wafer trifft – und nicht die Luft um sie herum erwärmt wird.

Wir lösen dieses Problem, indem wir goldbeschichtete Reflektoren mit hochwertigen keramischen Endkappen kombinieren. Dadurch bleibt die Energie dort, wo sie hingehört – und Ihre Geräte funktionieren weiterhin einwandfrei.

Präziser Infrarot Sensor für Wafern

Mon, 27 Jul 2026 10:01:50 +0800

Hören Sie auf zu warten – Warum Infrarotheizung im Waferverarbeitungsprozess überlegen ist

Wenn Sie immer noch gezwungenermaßen heiße Luft zur Verarbeitung von Halbleitern verwenden, warten Sie im Grunde darauf, dass der Raum erst einmal auf die richtige Temperatur kommt, bevor Sie mit der Arbeit beginnen können. Das ist sehr langsam.
Die Konvektion durch Luft ist einfach unpraktisch. Zuerst muss die Luft erhitzt werden, anschließend heizt diese Luft wiederum den Wafer. Es entsteht eine lästige Wartezeit, während man nur auf den Timer schaut und darauf wartet, dass die Temperatur ansteigt.
Infrarot ändert das Spiel.
Anstatt die Luft um den Wafer herum zu erhitzen, trifft das Infrarotlicht direkt auf die Oberfläche des Wafers. Das ist wie der Unterschied zwischen dem Versuch, sich die Hände zu erwärmen, indem man den gesamten Wohnraum erhitzt, und dem Versuch, sie einfach vor einen Kamin zu halten.

Aluminium Reflektor für IR Lampe

Sat, 25 Jul 2026 05:11:35 +0800

Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich die Probleme, die damit verbunden sind. Schon ein winziger Staubkorn oder ein unangenehmer chemischer Geruch während des Erwärmungsprozesses kann ganze Produktladungen zerstören. Das ist frustrierend.

Die meisten Infrarotlampen sind einfach nicht dafür geeignet. Sie verwenden billige Klebstoffe oder Beschichtungen, die bereits bei Erwärmung abplatzen oder giftige Stoffe freisetzen. Dadurch entstehen Partikel, die dort nicht hingehören. Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir hochreinen Quarz sowie spezielles Aluminium verwendet haben.

Quarzschlauch für IR Lampe

Wed, 17 Jun 2026 16:36:37 +0800

In der Fertigungshallen ist das Erhitzen des Photoresists ein entscheidender Prozessschritt, den man auf keinen Fall vernachlässigen darf. Eine Abweichung von 2°C während des Erhitzens kann dazu führen, dass die kritischen Abmessungen beeinflusst werden – und dann muss die Produktion gestoppt werden. Wir haben diese Quarzkappe für die IR-Lampen in den Fertigungsanlagen entwickelt, damit das thermische Profil konstant bleibt – Schicht für Schicht.

Was wirklich wichtig ist
Die Kappe ist dafür ausgelegt, kurzwelliges Infrarotlicht durchzulassen. Dadurch reagiert sie schnell und ermöglicht eine präzise Kontrolle der Temperatur. Sie sorgt dafür, dass die Temperatur auf der gesamten Oberfläche des Wafers bei ±0,1°C bleibt – das bedeutet, dass jede Schicht des Photoresists die gleiche Temperatur hat. Die Kompatibilität mit Reinräumen ist bereits in der Konstruktion berücksichtigt: Das Material sowie die Oberflächenbeschaffenheit verhindern die Entstehung von Partikeln – somit kann man in Umgebungen der Klassifikationsstufen 1–100 arbeiten, ohne dass die Betriebszeit eingeschränkt wird. Dadurch ergeben sich wiederholbare Ergebnisse, konstante Reflexionswerte sowie eine stabile Leistung über Tausende von Stunden hinweg.