http://ir-heat-direct.com/de/tags/backen/ Recent content in Backen on Direct Infrared Heating Supply Hugo de Mon, 29 Jun 2026 07:52:07 +0800 http://ir-heat-direct.com/de/posts/infrared-soft-bake-lamp/ Mon, 29 Jun 2026 07:52:07 +0800 http://ir-heat-direct.com/de/posts/infrared-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-direct.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Infrarot Heizlampe"></p> <p>In der Lithografie-Bereichstechnik ist eine leichte Schwankung der Heiztemperatur ein heimlicher Feind der Produktqualität – man bemerkt sie erst, wenn das CD-SEM Anzeichen von Problemen zeigt. Eine Abweichung von 0,5 °C auf der Waferoberfläche führt dazu, dass die Kontrolle über die kritischen Abmessungen nicht mehr gewährleistet ist. Wir haben unsere Infrarotheizlampen so konstruiert, dass diese Schwankungen bereits an der Quelle eingedämmt werden.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong><br> Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahler mit schnell reagierenden Quarzelementen. Dadurch erfolgt eine schnelle und gezielte Erwärmung der Waferoberfläche. Thermische Verzögerungen sind minimal. Bei der Behandlung des Fotolacks halten wir eine Homogenität der Temperatur auf der Waferoberfläche bei ±0,1 °C aufrecht. Die Genauigkeit der Temperaturregelung liegt <a href="https://o-yate.net">dabei</a> bei ±0,5 °C zwischen den verschiedenen Chargen.</p>