Quarzschlauch für IR Lampe

Wed, 17 Jun 2026 16:36:37 +0800

In der Fertigungshallen ist das Erhitzen des Photoresists ein entscheidender Prozessschritt, den man auf keinen Fall vernachlässigen darf. Eine Abweichung von 2°C während des Erhitzens kann dazu führen, dass die kritischen Abmessungen beeinflusst werden – und dann muss die Produktion gestoppt werden. Wir haben diese Quarzkappe für die IR-Lampen in den Fertigungsanlagen entwickelt, damit das thermische Profil konstant bleibt – Schicht für Schicht.

Was wirklich wichtig ist
Die Kappe ist dafür ausgelegt, kurzwelliges Infrarotlicht durchzulassen. Dadurch reagiert sie schnell und ermöglicht eine präzise Kontrolle der Temperatur. Sie sorgt dafür, dass die Temperatur auf der gesamten Oberfläche des Wafers bei ±0,1°C bleibt – das bedeutet, dass jede Schicht des Photoresists die gleiche Temperatur hat. Die Kompatibilität mit Reinräumen ist bereits in der Konstruktion berücksichtigt: Das Material sowie die Oberflächenbeschaffenheit verhindern die Entstehung von Partikeln – somit kann man in Umgebungen der Klassifikationsstufen 1–100 arbeiten, ohne dass die Betriebszeit eingeschränkt wird. Dadurch ergeben sich wiederholbare Ergebnisse, konstante Reflexionswerte sowie eine stabile Leistung über Tausende von Stunden hinweg.

Ärmel on Direct Infrared Heating Supply

Quarzschlauch für IR Lampe