In der Fertigungsstätte hängt die Leistung des Fotolacks von einem einzigen Faktor ab: der Temperatur im Behälter. Eine Abweichung von 0,5 °C kann dazu führen, dass die entscheidenden Abmessungen beeinflusst werden. Kalte Stellen können dazu führen, dass der Fotolack nicht richtig trocknet – man sieht dann Unreinheiten auf der Oberfläche des Fotolacks. Wir haben den Heizer im Chemikaliengehäuse so konstruiert, dass diese Schwankungen ausgeschlossen werden.
Was wirklich wichtig ist Wir verwenden mittelwellenlange Infrarotstrahler in einem mit Quarz isolierten Gehäuse. Es handelt sich dabei um Strahlungswärme – sie wirkt schnell und hat minimale thermische Masse. Die Temperaturgleichmäßigkeit im Gehäuse liegt bei ±0,1 °C, während die Wiederholgenauigkeit von Charge zu Charge bei ±0,05 °C liegt. Der Steuerkreis ist PID-basiert und hat eine Auflösung von 24 Bit; er wird anhand präziser Sensoren kalibriert.
Alle benetzten Oberflächen sind aus 316L-Stahl gefertigt, und alle Dichtungen sind gegen Lösungsmittel und Säuren geeignet. Der Heizer ist für Reinräume geeignet und entspricht den Anforderungen der ISO-Klassen 1–100. Die Partikelentstehung wird durch ein laminäres Strömungssystem sowie HEPA-Filter an der Ausstiegsöffnung minimiert. Die Leistungsdichte wird an das Volumen des Gehäuses angepasst – es gibt Konfigurationen mit 120 V bis 480 V, CE-konforme Stecker sowie Schutz vor Stromlecks.
Warum es in der Lithografie funktioniert In der Lithografie sorgt das Gehäuse dafür, dass die genau richtige Temperatur für das Trocknen des Fotolacks erreicht wird. Es gibt keine heißen Stellen, die zur Bildung von Unreinheiten führen könnten, und auch keine kalten Zonen, in denen Lösungsmittel zurückbleiben könnten. Dadurch entsteht eine gleichmäßige Filmschicht, weniger Nacharbeiten sind notwendig, und die Kontrolle über die Abmessungen des Films bleibt stabil.
Der Energieverbrauch sinkt, da die Strahler nur dann arbeiten, wenn es nötig ist. Der Standby-Verbrauch liegt unter 1 %. Das Gerät ist für einen 24/7-Betrieb geeignet – die durchschnittliche Betriebsdauer liegt bei über 50.000 Stunden. Der Zugang zur Wartung erfolgt über das Frontpanel, sodass Ausfallzeiten minimiert werden.
Praktische Details Der Heizer benötigt einen eigenen, stabilierten Stromkreis. Wenn aggressive Chemikalien verwendet werden, sollte eine saubere, trockene Stickstoffatmosphäre geschaffen werden – sonst kann Kondenswasser entstehen, was wiederum zu Temperaturschwankungen führt. Die Abmessungen des Gehäuses sowie die Dichtungen müssen zum Raumdesign passen. Während der Installation sollte eine Temperaturmessung durchgeführt werden, um die Kontrollwerte festzulegen und die Gleichmäßigkeit der Temperatur zu überprüfen.