Zabráněte tomu, aby vaše IR lampy zničily celou várku
Pokud provádíte výrobu polovodičů ve vysokém objemu, znáte ten noční můru – prasknutí IR lampy.
Nejde jen o to, že selže topné těleso. Jde také o ten nepořádek. Když selže jeden křemenný trubice, váš zařízení se okamžitě zaplní střepy skla a kovovým prachem. Takto můžete v jediném okamžiku zničit celou várku waferů. Je to frustrující, nákladné – a upřímně řečeno, toho se dá vyhnout.
Proto stavíme naše lampy s ohledem na „nejhorší možný scénář“.
Udržení nepořádku uvnitř
Nespoléháme se jen na to, že sklo vydrží. Používáme dvouvrstvou konstrukci. Samozřejmě, křemenná obálka je navržena tak, aby odolala tepelným šokům, ale nezastavujeme se u toho.
Lampu obalujeme ochrannou vrstvou. Můžete si to představit jako bezpečnostní síť. Pokud se lampa během extrémního tepelného cyklu rozbije nebo vyhoří, tato vrstva zachytí úlomky. Odpadky zůstanou na místě – vaše wafery zůstanou neporušené.
Zvládání tepla
Používáme křemien vysoké čistoty, abyste nemuseli čelit nežádoucímu uvolňování plynů během zahřívání.
Vynaložili jsme také hodně úsilí na to, kde přesně bude umístěn vlákno. Díky optimalizaci polohy se zbavíme těch nepříjemných „horkých míst“ na stěnách trubic. Bez těchto horkých míst je méně pravděpodobnost prasknutí trubice.
Ale zde je rychlý tip: nerozšiřujte napětí na trubicích příliš. Vím, že je lákavé zvýšit napětí, abyste ušetřili pár sekund během procesu zahřívání, ale tím pouze zvyšujete riziko prasknutí. Držte se doporučených hodnot.
Kompromis
Nic není dokonalé. Přidání této ochranné vrstvy samozřejmě znamená mírné snížení účinnosti IR záření. Nebudete mít 100 % této energie ve srovnání s lampou bez této vrstvy.
Ale podle mě je to rozumný kompromis za úplný klid. Aby to fungovalo, stačí upravit nastavení PID tak, aby se vzala v úvahu tepelná hmotnost této vrstvy. Dosáhnete požadované rychlosti zahřívání a nemusíte se obávat, že vám sklo praskne a zničí vám celý týden.