লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, “সফ্ট বেক” বা “হার্ড বেক” প্রক্রিয়ায় অর্ধ ডিগ্রি সেলসিয়াসের মতো ছোট পরিবর্তনও ক্ষতিকারক। এর ফলে ফটোরেজিস্টের গুণমান কমে যায়, গুরুত্বপূর্ণ আকারগুলো পরিবর্তিত হয়ে যায়; আর লাইনগুলো ঠিকমতো চলে না। কোটার/ডেভেলপার যন্ত্রগুলোতে, থার্মাল প্রক্রিয়াটিই নির্ভরযোগ্যতা নির্ধারণ করে।
ইনফ্রারেড হিটিংয়ের নির্ভুলতা: সাব-মিলিমিটার মানে সমানতা ও পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা
আমরা কোটার/ডেভেলপার যন্ত্রগুলোর জন্য শর্ট-ওয়েভ NIR ডিজাইন ব্যবহার করেছি; এর ফলে ওয়েফারের উপরিভাগে সাব-মিলিমিটার মানে সমানতা বজায় থাকে। এর ফলে ওয়েফারের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা সম্ভব হয়। পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা নিশ্চিত হয় ক্লোজ্ড-লুপ ক্যালিব্রেশন ও স্থিতিশীল এমিসিভিটি ম্যানেজমেন্টের মাধ্যমে। এখানে লক্ষ্য হলো সর্বোচ্চ তাপমাত্রা অর্জন নয়; বরং ফটোরেজিস্টটি যে তাপ পায় তা নিয়ন্ত্রণ করা।
কেন এটি সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত?
ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে তাপমাত্রার ত্রুটির মতোই কণার উৎপাদনও সমস্যা সৃষ্টি করে। আমরা এমন হিটার ডিজাইন ও উপকরণ বেছে নিয়েছি যা কণার সংখ্যা কমায়; আর কোনো ধরনের গ্যাস নির্গমন না হয়। এই সিস্টেমটি সফ্ট বেক ও হার্ড বেক উভয় প্রক্রিয়াতেই নির্ভুলতা বজায় রাখে; ভিসকোসিটি, সলভেন্ট অপসারণ ও আঠালোতা নিয়ন্ত্রণ করে। এর ফলে প্রক্রিয়ার সময় কমে যায় এবং অপচয়ও কমে যায়।
ইনফ্রারেড হিটিংয়ের ফলে শক্তি খরচ কমে যায়—কারণ এটি সরাসরি তাপ স্থানান্তর করে। রিলায়েবিলিটি নিশ্চিত হয় ২৪/৭ অপারেশনের জন্য; রক্ষণাবেক্ষণের বাধা কম থাকে এবং রিপ্লেসমেন্টের সময়ও নির্ধারিত থাকে।
ব্যবহারিক বিষয়সমূহ
বেশিরভাগ কোটার/ডেভেলপার যন্ত্রগুলোতে এটি সহজেই ইনস্টল করা যায়; কিন্তু থার্মাল ইন্টারফেসগুলো গুরুত্বপূর্ণ। হিটারটিকে বিদ্যমান প্লেটেনের সাথে মেলানো উচিত; আর কন্টাক্ট সারফেসের এমিসিভিটি যাচাই করা উচিত। অন্যথায়, সেটপাইন থেকে ওয়েফারের তাপমাত্রায় পরিবর্তন হতে পারে। PID সেটিংস ঠিক করার জন্য এবং নির্দিষ্ট ফটোরেজিস্ট স্�タックের জন্য সমানতা নিশ্চিত করার জন্য সংক্ষিপ্ত টেস্ট করা উচিত।
একটি সীমাবদ্ধতা হলো: ইনফ্রারেড ইন্টেনসিটি সাবস্ট্রেট ও ক্যারিয়ারের থার্মাল মাসের সাথে মেলানো উচিত। খুব পাতলা ফিল্ম বা বিশেষ ধরনের সাবস্ট্রেটের ক্ষেত্রে উপযুক্ত পাওয়ার প্রোফাইল দরকার।