红外软烤灯

在光刻工艺中，温和烘烤过程中的温度波动其实是个隐蔽的隐患，往往要等到CD-SEM开始出现问题时才会被发现。如果晶圆表面的温度差异达到0.5°C，那么对关键尺寸的控制就会变得非常困难。我们设计的红外线温和烘烤灯，就是为了从源头减少这种温度波动。 关键参数 我们使用具有快速响应特性的石英元件来产生短波...