真空室红外加热器

别再等待加热器启动了：为什么真空红外加热器更适合半导体加工 如果你们仍然依赖热空气循环来进行半导体的深度加工，那相当于把一半的时间都浪费在等待上。改用真空红外加热器并非仅仅是一种硬件上的更换，而是一种全新的能量传递方式。 热空气的缺点就是反应速度慢。 想象一下其工作原理：先加热气体，气体再加热腔室...