MEMS ویفرز کو خشک کرنے کا بہتر طریقہ: ہم نے IR کا استعمال کیوں شروع کیا؟
دراصل، روایتی طریقوں سے ویفرز کو خشک کرنا بہت پیچیدہ عمل ہے۔ اس میں کیمیائی محلولوں، بھاری دھاتوں، اور نقصان دہ VOCز کا استعمال کرنا پڑتا ہے؛ جس کی وجہ سے “کلین روم” کا ماحول لیبارٹری کے بجائے کسی خراب کیمیائی تجربے جیسا لگنے لگتا ہے۔
ہم نے ان تمام روایتی طریقوں کو ترک کرنے کا فیصلہ کیا۔ اب ہم انفراریڈ (IR) حرارت کا استعمال کرتے ہیں۔ یہ طریقہ زیادہ صاف، پائیدار، اور مؤثر ہے۔
یہ عمل دراصل کیسے کام کرتا ہے؟
زیادہ تر لوگوں کے ذہن میں ایسے آفن ہی ہوتے ہیں، جہاں ہوا کو گرم کیا جاتا ہے، اور امید کی جاتی ہے کہ یہ گرم ہوا ویفر کو بھی گرم کر دے گی۔ لیکن یہ عمل بہت سست ہے۔
INR کا طریقہ مختلف ہے۔ یہ تو جیسے جولائی کی دوپہر میں سورج کی روشنی میں کھڑے ہونے جیسا ہے۔ لیمپ، الیکٹرومیگنیٹک تابکاری کو براہ راست ویفر کی سطح پر بھیجتے ہیں۔ ہم اس تابکاری کی فریکوئنسی کو ایسے ہی ایڈجسٹ کرتے ہیں کہ یہ پانی کے مولیکیولوں کو متاثر کرے، جس کی وجہ سے ویفر کی سطح سے نمی فوراً ختم ہو جاتی ہے۔
یہ عمل بہت تیز ہے… واقعی بہت تیز۔
اب ہمیں منٹوں کے بجائے سیکنڈوں میں ہی نتائج حاصل ہو جاتے ہیں۔ اس کے علاوہ، مشینیں چھوٹی ہونے کی وجہ سے زیادہ جگہ بچ جاتی ہے، اور بجلی کی لاگت بھی کم ہو جاتی ہے۔
چیلنجز اور ان کا حل
تاکہ کوئی زہریلے مواد باہر نہ نکلے، ہم اعلیٰ خالصیت والے فلامنٹس والے کوارٹز لیمپوں کا استعمال کرتے ہیں۔ ان لیمپوں سے گرم ہونے کے دوران کوئی زہریلا مواد خارج نہیں ہوتا، جو ورکشاپ میں کام کرنے والے لوگوں کے لئے بہت فائدہ مند ہے۔
لیکن یہاں ایک مشکل یہ ہے کہ INR سے بہت زیادہ حرارت پیدا ہوتی ہے۔ اگر ویفر کی موٹائی مختلف ہو، یا اس میں مختلف مواد استعمال کئے گئے ہوں، تو “گرم نقاط” پیدا ہو سکتے ہیں۔ اگر احتیاط نہ کی جائے، تو سلیکون کی ساخت خراب ہو سکتی ہے۔ اسے روکنے کے لئے ہم پلسڈ پاور سپلائیز کا استعمال کرتے ہیں، تاکہ MEMS ڈھانچے خراب نہ ہوں۔ ہم کنویئر بیلٹ کی رفتار اور لیمپ کے فاصلے پر بھی بہت توجہ دیتے ہیں… یہ سب کچھ بالکل درست ہونا ضروری ہے۔
اس کا ورکشاپ پر کیا اثر ہے؟
اگر آپ اب بھی پرانے کیمیائی طریقوں کا استعمال کر رہے ہیں، تو INR کا استعمال کرنا بہت آسان ہے۔
سب سے اچھی بات یہ ہے کہ آپ کو خطرناک فضلے کی صفائی یا وینٹیلیشن کے لئے بہت زیادہ رقم خرچ کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔ یہ طریقہ ماحولیاتی معیارات کو پورا کرنے کا بہترین طریقہ ہے، اور اس سے پیداوار میں کوئی کمی نہیں آتی۔
نتائج بھی بہتر ہوتے ہیں… ویفرز پر کوئی داغ یا نشان نہیں رہتا۔ ویفرز بالکل صاف ہی نکلتے ہیں۔